はんだペーストや導電性接着剤で微細なバンプを印刷することは、エレガントなソリューションです。しかし、ほとんどの印刷技術では、現在の解像度はもちろんのこと、将来の解像度要件も達成することは困難です。実際、マイクロ LED のサイズが小さくなるにつれて、この要件はさらに厳しくなります(ロードマップは 5x5um2 に向かっています)。 そこで、ウェーハ上にグラビアオフセット印刷を行うことで、エレガントなソリューションを提供します。ここでは、小森が行った、30umピッチのウェハーに6um(直径)のはんだパッドを印刷した例をご覧いただけます。これは優れた解像度です。リフロー後、はんだは広がり、はんだバンプの直径は15umになりました。
この技術や、次世代マイクロLEDの製造に不可欠なその他の技術について詳しく知りたい方は、TechBlickのマイクロLEDイベントの確定した講演者リストをご確認ください。アジェンダの全容を見ることができます。 これ [This is automatically translated from English]