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マイクロLED用印刷ラップアラウンド電極

マイクロLEDディスプレイを大面積化するために、小型のディスプレイにはタイトルを付けることができます。マイクロLEDはエッジのないデバイスなので、タイリングが機能し、見た目がすっきりする。


各タイトルには、マイクロLED、バックプレーン、ドライバー電極を配置する。ガラス基板の表側にはマイクロLEDとバックプレーン、裏側にはドライバー電極を配置します。この2つをつなぐのがインターコネクトです。ラップアラウンド電極(端に巻きつけて表と裏をつなぐ配線)は、ドリルで穴を開けてガラスを貫通させる必要がない、エレガントなソリューションです。


ラップアラウンド電極は、印刷またはPVD成膜が可能です(いずれも面取りガラスが望ましい)。後者は、より良いフィーチャーサイズと薄く導電性のあるラインを得ることができ、一方、前者は生産性を向上させることができます。

以下の画像は、様々な技術のデモンストレーションです。スクリーン印刷は、TACT時間が短く、堅牢なソリューションです。アプライド マテリアルズは、非常に狭い線幅(30μm)を狭いスペーシング(50μm)でスクリーン印刷できることを実証しています。


これは素晴らしい結果です。ちなみに、シリコン太陽電池への導電性ペーストのスクリーン印刷の最先端/生産は、それぞれ35umと20umであることに注意してください。この工程では、まず上下の電極を印刷した後、基板を回転させ(アライメントに優れている)、端から電極を印刷する。


この技術には、優れた機械が必要です。アプライドマテリアルズは、230x230mmの基板に対応し、±6umの再現性と1000pphのスループットを実現する装置を発表した。ただし、過去と印刷プロセスの最適化が重要である。一般に、ガラスへの密着性が5Bで非常に高い導電性(バルクAg20%)のペーストが必要になります。最終的な印刷厚みは3-5μmが目標である。 スクリーン印刷は、エッジ付近にピークがなく、滑らかな表面であることが望ましい。


ラップアラウンド電極のアディティブデポジションには、エアロゾル噴射も提案されている。エアロゾルの利点は、3次元表面上に印刷できることと、一般にスクリーン印刷よりも微細な形状を成膜できることである。ラップアラウンド電極を実現するためには、ハーフラップ電極を2回印刷する必要がある(下図参照)。その間に、ガラスを回転させる必要がある。オプトメックでは、1時間あたり18kのフルラップインターコネクトを達成するとしています(ガラスを回転させる時間は除く)。 なお、以下の例ではL/Sが50umとなっていますが、原理的にはエアロゾルの噴射は下方向から行うことが可能です。


一般的に、これはマイクロLEDの市場にとって興味深いソリューションです。 [This is automatically translated from English]







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