マイクロ LED ディスプレイの実現には、製造、特に質量移動と修復が最大の課題として残されています。プロセスを簡略化するために、多くの人が青色（あるいは紫外）LEDだけを転送し、量子ドットなどのカラーコンバータを蒸着することでRGBを実現することを提案しています。 この場合、蒸着工程が追加されます。しかし、QD と GaN microLED のチップスケールのモノリシック集積を実現できるとしたらどうだろうか。実際、Saphlux はまさにこれを提案し、2022 年 11 月 30 日～12 月 1 日に TechBlick の microLED および QD イベント www.TechBlick.com/microLEDs で発表する予定です。
Saphluxは、このアプローチをさらに一歩進めました。QDの転写後蒸着ではなく、彼らの技術は、量子ドットとマイクロLEDのチップスケール統合を可能にします。この技術では、ナノポーラス構造がLED内部に直接形成され、in-situ QD統合のための自然な容器として機能します。ナノポーラス構造によって有効光路を拡大し、強力な散乱効果によって全体的な効率を高めることができます。また、窒化ガリウムは熱伝導率が高いため、量子ドットの信頼性も大幅に向上するとしています。
重要なのは、この技術により、赤、緑、青の画素を1つのチップにモノリシックに集積することができ、マイクロLEDディスプレイの製造の複雑さとコストを大幅に削減できるとしていることです。
この技術では、LEDの材料を酸性溶液に浸し、バイアス電圧をかけることで、n型GaNの電気化学エッチングを駆動し、ナノポアを形成することができます。エッチング電圧を調整することで、ナノ穴の空隙率や大きさを変えることができる。その後、青色LEDを露出したナノ穴GaNで電流駆動パネルに接合し、赤/緑QDを選択的に搭載することで、Micro-LEDのフルカラー化を実現します。
サフラックスは、2022年11月30日～12月1日に開催されるTechBlickのmicroLED and QDイベントでこの発表を行う予定です。www.TechBlick.com/microLEDs [This is automatically translated from English]
