¿Cómo ayuda el láser en la producción de pantallas MicroLED? Uno de los mayores retos de fabricación en la producción de pantallas uLED es el paso de transferencia, dados los requisitos de velocidad y rendimiento. Como se muestra en las siguientes diapositivas de Oliver Haupt, de Coherent Inc., los láseres pueden desempeñar un papel importante en este paso, tanto cuando se trata de microLEDs de tres colores (R G B) como cuando sólo hay que transferir microLEDs azules.
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A continuación se muestra el flujo del proceso para ambos casos. En el caso de los microLEDs RGB, primero se fija un soporte temporal al sustrato de zafiro sobre el que se cultivan los uLEDs de GaN. Se utiliza el láser Lift Off (LLO) para despegar el sustrato de zafiro, liberando la oblea portadora con los microLEDs de GaN desprendidos. A continuación, se utilizan puntos UV controlados para liberar los microLED individuales en el sustrato final que contiene las capas activas de la placa posterior del TFT. Este proceso puede repetirse tres veces, cada vez para un color de uLED diferente. En todos los pasos, por supuesto, se requiere un control excelente y optimizado del perfil/parámetros del láser en armonía con las propiedades adecuadas del material adhesivo.
En el caso de los microLED de color azul, el sustrato final de la placa base se pone en contacto con el sustrato de zafiro de GaN. Los uLED de GaN se transfieren al sustrato final mediante el proceso LLO. La capacidad de tres colores se consigue entonces mediante la conversación de colores, por ejemplo, QDs o fósforos de pequeño tamaño
Los resultados muestran el ejemplo de transferencia de microLED RGVB. Los parámetros se muestran en la diapositiva, incluyendo el tamaño del microLED, el paso, la densidad de energía láser, la distancia donante-receptor, etc. Se puede observar que en cada disparo se transfiere un color diferente. Así, en tres disparos todos los microLEDs R G B se colocan en el punto correcto. Como muestra el subconjunto de la diapositiva 2, el láser puede procesar en cada paso/disparo un área de aproximadamente 2,83cm2.
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