Comment les lasers aident-ils à la production d'écrans MicroLED ? L'un des plus grands défis de fabrication dans la production d'écrans uLED est l'étape de transfert étant donné les exigences de vitesse et de rendement. Comme le montrent les diapositives ci-dessous d'Oliver Haupt de Coherent Inc, les lasers peuvent jouer un rôle important dans cette étape, aussi bien lorsque les microLEDs des trois couleurs (R G B) que lorsque seules les microLEDs bleues doivent être transférées.
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Le déroulement du processus dans les deux cas est présenté ci-dessous. Dans le cas des microLEDs RGB, un support temporaire est d'abord fixé au substrat de saphir sur lequel les uLEDs GaN sont cultivées. Un laser LLO (Laser Lift Off) est déployé pour décoller le substrat de saphir, libérant la tranche de support avec les microLEDs GaN détachées. Ensuite, des spots UV contrôlés sont utilisés pour libérer les microLED individuelles sur le substrat final contenant les couches actives du fond de panier du TFT. Ce processus peut être répété trois fois, chaque fois pour une couleur de uLED différente. Dans toutes les étapes, il faut bien sûr un contrôle excellent et optimisé du profil/paramètre du laser en harmonie avec les propriétés du matériau adhésif.
Dans le cas des microLEDs uniquement bleues, le substrat final du fond de panier est mis en contact avec le substrat en saphir GaN. Les uLEDs en GaN sont transférées sur le substrat final via le processus LLO. La capacité à produire trois couleurs est ensuite obtenue par la conversation des couleurs, par exemple, des QD ou des phosphores de petite taille.
Les résultats montrent l'exemple du transfert des microLED RGVB. Les paramètres sont indiqués dans la diapositive, notamment la taille des microLED, le pas, la densité d'énergie laser, la distance donneur-récepteur, etc. On peut constater qu'une couleur différente est transférée à chaque tir. Ainsi, en trois coups, toutes les microLEDs R G B sont placées au bon endroit ! Comme le montre le sous-ensemble de la diapositive 2, le laser peut, à chaque étape/tirage, traiter une surface d'environ 2,83 cm2.
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