と異種集積のための高度なパッケージング。
講演者 アーメッド・ブスナイナ|会社概要 ナノOPS|日付:2022年10月12日~13日|プレゼンテーション全文
現在の電子機器製造プロセスは、運用コストと資本コストが高い。これらの従来のプロセスは、大量の電力と水を消費する何百もの高エネルギー蒸着ステップを使用する複雑な一連のステップで構成されています。ナノ・マイクロエレクトロニクスを製造するためのスケーラブルで持続可能な新しい技術が開発された。この技術は、ナノスケールの粒子やその他のナノ材料を常温・常圧で基板上に直接組み立てることで、高エネルギーや化学的強度の高い処理を排除し、構造を正確に構築するものである。 ナノ材料を用いたエレクトロニクス・トランジスタの多くは、有機材料やカーボンナノチューブや2次元材料などの焼結を必要としないナノ材料を用いて作られてきたが、商業的インパクトを与えるためには、シリコンやIII-VおよびII-VI半導体、金属、誘電体などの従来の半導体ナノ材料を印刷して、高性能エレクトロニクスを作り出すことが必要である。本発表では、この技術が単結晶構造を印刷し、無機半導体、金属、誘電体を用いて、エッチングや真空を用いない純粋な添加剤(Directed Assembly enabled)を用いてトランジスタを製造する方法を紹介します。このプロセスでは、106以上のオン/オフ比を持つトランジスタの製造が実証されています。この新技術は、ナノエレクトロニクスの製造を可能にすると同時に、コストを10-100倍削減し、インクジェットベースの印刷よりも1000倍速く、1000倍小さい(20nmまで)構造を印刷することができます。 さらに、ナノスケールの印刷プラットフォームは、硬質または軟質基板上に印刷エレクトロニクスとアクティブおよびパッシブコンポーネントの相互接続回路層(CMOSのような)の異種混在を可能にします。無機・有機材料を用いたマイクロ・ナノスケールでのトランジスタ、インバーター、ダイオード、ロジックゲート、ディスプレイなどの印刷アプリケーションを紹介する予定である。
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